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據(jù)悉，長三角G60激光聯(lián)盟單位亞威艾歐斯通過引進技術再創(chuàng)新，與德國通快公司密切合作，開發(fā)了激光剝離設備，在關鍵指標和工藝性能方面均達到進口設備水平。

【資料圖】

激光剝離（Laser-Lift-Off）作為柔性OLED制程的核心工藝之一，長期被韓國設備供應商所壟斷。長三角G60激光聯(lián)盟單位亞威艾歐斯通過引進技術再創(chuàng)新，與德國通快公司密切合作，大幅縮短了研發(fā)進程，在關鍵指標和工藝性能方面均達到進口設備水平。

DPSS激光剝離是指通過固體納秒紫外激光輻照，實現(xiàn)有機發(fā)光顯示器件（PI膜）與搭載的玻璃基板分離，與傳統(tǒng)的準分子脈沖激光剝離相比，具有能量輸入穩(wěn)定、生產(chǎn)效率高、不需要定期更換工作氣體等優(yōu)勢。

據(jù)媒體報道Samsung Display其A3線主要采用了DPSS LLO設備，因DPSS技術較準分子激光器使用和維護成本低，并可以減少設備采購總數(shù)量。

【激光剝離工藝示意圖】

長三角G60激光聯(lián)盟單位亞威艾歐斯激光剝離設備搭載的DPSS激光光學系統(tǒng)，能量利用率達85%以上。中德韓聯(lián)合研發(fā)的“Z”型折疊光路，將整個線光斑光學系統(tǒng)長度縮短30%。該系統(tǒng)整形后的線光斑長度400-750mm（可調(diào)節(jié)）、寬度30μm，可同時應對黃色和透明PI兩種產(chǎn)品的激光剝離工藝，且工藝品質(zhì)及加工效率有大幅度提升。

【光路示意圖】

【線光斑】

【激光剝離柔性顯示屏樣品】

長三角G60激光聯(lián)盟單位亞威艾歐斯激光剝離設備，已對國內(nèi)數(shù)家顯示面板廠商提供的樣品進行了測試，效果良好，完全達到客戶技術要求。

隨著顯示面板企業(yè)對使用成本和效率要求的不斷提高，導入DPSS激光剝離工藝是大勢所趨，亞威艾歐斯將繼續(xù)努力并與客戶密切協(xié)同，加快實現(xiàn)量產(chǎn)交付，為柔性OLED制程關鍵設備的進口替代做出貢獻。